2024년도 전자부품 분야(반도체, IT융합) 신규지원 대상 연구개발과제 안내문(재공고)

① 전자부품산업기술개발 (첨단전략산업초격차기술개발(반도체))

(단위: 월, 백만원)

번호	RFP명	과제 성격	개발기간	‘24년 출연금	주관기관	과제 유형	기술료 징수여부	자율성트랙	특이 사항
1	고품질 하이브리드 본딩을 위한 세정 기술과 표면 분석 기술 개발	품목(핵심)	33	1,930	제한없음	원천기술	징수	지정	국제 공동

품목번호

초격차반도체-품목-08

산업

기술

분류

중분류Ⅰ

중분류Ⅱ

품목유형

■ 원천기술   □ 혁신제품

반도체장비

융합유형

□ 산업고도화형 □ 사회문제해결형  □ 신산업창출형  ■ 해당없음

해당여부

□ IP R&D연계  □ 표준연계  □ 디자인연계  □ BI연계  □ 경쟁형R&D  □ 복수형 R&D □ 국가핵심기술  □ 서비스형  □ 안전과제  □ 탄소중립  ■ 국제공동 R&D □ 원스톱형  □ 통합형  ■ 초격차

R&D

자율성트랙 유형

□ R&D 자율성트랙(일반)  ■ R&D 자율성트랙(지정)

품목명

고품질 하이브리드 본딩을 위한 세정기술과 표면 분석 기술 개발

품목코드

(HSK10)

류

호

소호

통계부호

9

0

3

0

8

2

0

0

0

0

(TRL :  [시작] 2단계 〜 [종료] 5단계)

1. 개념 및 개발내용

□ 개념

ㅇ 반도체 소자의 고집적화, 고기능성 패키징에 대응하기 위한 웨이퍼 레벨 첨단 하이브리드 본딩 세정 및 표면분석 기술

* 핵심목표 : 100 nm 이하 입자 오염 제거율 90% 이상 + 유기물 제거율 100% + 표면분석 공간분해능 (< 20 nm) (세계최고수준)

□ 개발내용

ㅇ 하이브리드 본딩 공정에서 입자 오염물 제거를 위한 기술 개발

ㅇ 하이브리드 본딩 수율 향상을 위한 핵심 세정 공정 기술 개발

ㅇ 본딩 패드 국부의 극미량 폴리머 잔여물 분석 기술 확보

ㅇ 칩과 폴리머 상호작용 연구를 통한 잔여물 제거 기술 개발

ㅇ 폴리머-솔벤트 상호작용 연구를 통한 세정액 개발

연구개발계획서 제출시 다음의 항목의 정량적 목표치 및 상용화 수준 제시 필수

▸100 nm 이하의 오염입자 제거율(%), 유기물 제거율(%), 표면 분석 공간분해능(nm) 등

▸(국제공동개발 대상 역할) 첨단 패키지 테스트 웨이퍼 제작 및 제공, 세정 기술 대면적화 및 양산성 평가기술 개발

2. 지원 필요성

□ 지원 필요성

ㅇ (정책적 측면) 통합 플랫폼을 통한 기업 상생 형태의 유기적 기술 개발 성과 도출과 국내 패키지 산업 기술로의 극대화를 위한 중장기적 지원이 절대적으로 필요한 시점

ㅇ (기술적 측면) 팹리스 및 디자인하우스 업체의 경우, 소량 업무에 대한 후공정 업체의 비선호에 따른 개발한 기술의 테스트 진행 및 상용화가 어렵고, 패키지/테스트 관련 기술 이해력 부족으로 연관 기술 개발이 어려움

ㅇ (시장적 측면) 기존 패키지 기술 고도화 전략 및 지원을 통한 국내기업의 사업 경쟁력 강화와 함께 첨단 패키지 기술 개발을 통한 기술 선점 및 미래 기술 대응 필요

ㅇ (사회적 측면) 첨단 반도체 시장의 국제 정세의 변화에 따른 연구 분야에서 국제협력을 통한 반도체 생태계 연대가 강화가 요구되고 있으며 더욱 선진 연구기관과의 연구협력을 통해 국내 연구 역량을 높여 국내 반도체 산업 생태계 발전 촉진을 위해 필요

□ 활용분야

ㅇ WLCSP 공정 전반에 적용되는 세정 기술로 활용

ㅇ 구리-절연층 이종접합을 위한 표면처리 기술 및 표면 분석 기술로 활용

ㅇ Interposer와 chiplet 등 미세화 기술에 적용가능한 표면처리 기술로 활용

ㅇ 첨단 패키징 품질 및 수율 향상을 위한 나노 공간 분해능 미세 오염물 분석 기술 기반의 검사 기술로 활용

3. 지원기간/예산/추진체계

ㅇ 기간 : 33개월 이내 (1차년도 개발기간 : 9 개월, 2~3차년도 : 각각 12 개월)

ㅇ 정부지원연구개발비 :  ‘24년 19.3 억원 이내(총 정부출연금 38.3 억원 이내)

ㅇ 주관연구개발기관 : 제한없음

ㅇ 기술료 징수여부 : 징수

ㅇ 기 타 : 해외기관 참여 필수

①

전자부품산업기술개발 (첨단전략산업초격차기술개발(반도체))